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當(dāng)前位置：德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司>>產(chǎn)品展示>>Deposition沉積系統(tǒng)
AT-400原子層沉積系統(tǒng)高縱橫比沉積，具有良好的共形性;曝光控制，用于在 3D 結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)所需的共形性；預(yù)置有經(jīng)驗(yàn)證過的 3D 和 2D 沉積的優(yōu)化配方；簡(jiǎn)單...
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